大多数的微振腐蚀均在大气条件下进行，微振腐蚀涉及3个单元过程：冷焊、局部断裂和氧化。基于磨损和氧化的关系，有以下两种不同的微振腐蚀机理。
1）磨损-氧化机理
如图3.28所示，在承载金属表面上，某些微小的突出部分发生了冷焊。在相对运动过程中，冷焊区局部破裂，金属颗粒脱落下来。由于摩擦，颗粒被氧化，这些较硬的氧化物颗粒又起到磨料的作用，强化了磨损过程。该过程反复进行，导致金属损失，该机理强调了磨损。
图3.28 微振腐蚀的磨损-氧化机理示意
2）氧化-磨损机理
如图3.29所示，氧化-磨损机理认为，大多数金属本身已存在氧化膜，在往复运动中，突出部位的氧化膜在高压下局部破裂成碎片，暴露处的新鲜金属表面重新被氧化，或者冷焊。接触面的相对位移，使得该处膜又破裂，这一过程反复进行，导致微动腐蚀。该机理强调了氧化。
图3.29 微振腐蚀的氧化-磨损机理示意