(1)能谱仪的主要特点
1)探测效率高。
2)测量时间短。能谱仪能够同时处理样品中各种元素发出的各种特征X射线,对各种元素的X射线在同一时间内计数,仅用几秒到几分钟时间就可完成全谱分析,得出样品中主要成分和次要成分。
3)分析粗糙表面的样品较方便。
4)可以在电压较低,束流小的情况下工作,并得到真正的微区分析。
5)操作简单、直观。
6)对超轻元素的分析比较困难。
7)分辨率差。
从能谱仪的性能特点可以看出,能谱仪确有不少优点,但也有不足之处。从仪器的配套来看,扫描电镜与能谱仪结合是比较合理的。
(2)能谱仪在断口中的应用
1)X射线面分析。扫描电镜的主要用途是观察样品表面的形貌特征,但有时需要了解样品表面某一区域某种元素的分布情况,这时就可以进行X射线面分布试验。
2)X射线线分析。成分分布图的一个限制是难以通过加亮点子的多少来计算相对强度,而线扫描则可以进行这种分析。
3)点分析。在扫描电镜观察试验中,有时需要了解试样表面上某些质点或腐蚀产物,或基体某区域的化学成分,这就要做定性或半定量分析。定性分析就是直接从收集到的谱线上定峰位,识别元素。半定量分析就是近似地估算样品所含元素的浓度,这种分析有计算机辅助计算,只需要几秒钟就可以得到结果。
从能谱仪的几种用途可以看出,当其与扫描电镜、透射电镜配合使用时则可以取得样品上成分分布、含量等信息,因此在断口金相分析及其他学科研究工作中能谱仪已成为一种重要的工具。