厚膜电阻器的主要失效模式：参数漂移和参数不稳定。
厚膜电阻器失效机理及原因分析如下。
（1）对于Pd-Ag电阻器，在温度、耐湿试验中，化学组分的变化导致阻值不稳定。温度试验中阻值增加的原因是钯、银元素被氧化；长期耐湿试验中阻值减少的原因是银的还原。
（2）Pd-Ag电阻器直接暴露于氢气中时参数不稳定。在含氢气气氛的工艺过程中，如封装中的环氧树脂、粘接剂、焊剂等，若电阻表面保护层玻璃釉不良，则可能接触氢气。
（3）厚膜电阻在界面应力作用下导致开裂，应力来源包括：电阻膜与其保护玻璃釉膜界面之间的应力失配，灌封电路树脂固封时热胀冷缩对电阻膜产生的机械应力。
（4）激光调阻引入的缺陷，造成阻值的不稳定，如过分微调热点。
（5）在高压脉冲使用情况下，厚膜电阻产生很大的阻值变化，称为厚膜电阻器的电压漂移。这种阻值变化的相关因素有两个方面：厚膜中导体金属与玻璃之间、导体金属颗粒之间存在不完全浸润；高压脉冲击穿局部膜层中的玻璃相，电阻等效网络变化引起阻值变化。