工业上采用的干法超细粉碎设备主要包括旋转筒式球磨机、辊磨机、搅拌球磨机、高速机械冲击磨机、振动球磨机、分级研磨机等。除具有自行分级功能的超细磨以外，为确保产品细度和粒度分布的要求，实际生产线上一般均配置精细分级设备，配置方式有内置式和外置式两种，内置式均为内闭路生产方式，外置式可以有开路和闭路二种生产方式，开路式通过分级机分级后生产两种不同细度的产品，闭路式只生产一种超细粉体。干法生产线常配的分级机是离心或涡轮式空气或气流分级机。国内目前主要的干法超细粉碎工艺是环辊磨-分级机及球磨机-分级机超细粉碎工艺，其中环辊磨是内置分级机，而且不使用磨矿介质，因此工艺和操作较简单。
湿式超细粉碎设备主要是湿式搅拌球磨机、砂磨机或研磨剥片机、螺旋搅拌磨等。给料粒度一般为 d 97 ≤45μm（或全部小于70μm）；产品细度为：填料级 d 97 ≤4μm，研磨介质尺寸一般为0.8～1.2mm。