系统分析的具体步骤包括：限定问题、确定目标、调查研究和收集数据、提出备选方案和评价标准、评估备选方案和提出最可行方案。

1）限定问题

所谓问题，是现实情况与计划目标或理想状态之间的差距。系统分析的核心内容有两个：其一是进行“诊断”，即找出问题及其原因；其二是“开处方”，即提出解决问题的最可行方案。所谓限定问题，就是要明确问题的本质或特性、问题存在的范围和影响程度、问题产生的时间和环境、问题产生的原因等。限定问题是系统分析中关键的一步，因为如果“诊断”出错，以后开的“处方”就不可能对症下药。在限定问题时，要注意区别症状和问题，探讨问题起因时不能先入为主，同时要判别哪些是局部问题，哪些是整体问题，问题的最终确定应该在调查研究之后。

2）确定目标

系统分析的目标应该根据客户的要求和对需要解决的问题加以确定，如有可能应尽量通过指标表示，以便进行定量分析。对不能定量描述的目标也应该尽量用文字说明清楚，以便进行定性分析和评价系统分析。

3）调查研究和收集数据

调查研究和收集数据应该围绕问题起因进行，一方面要验证限定问题阶段形成的假设，另一方面还要探讨产生问题的根本原因，为下一步提出解决问题的备选方案做准备。

调查研究常用的有 4 种方式，即阅读文件资料、访谈、观察和调查。收集的数据和信息包括事实（facts）、见解（opinions）和态度（attitudes）。同时，要对数据和信息去伪存真，交叉核实，以保证数据的真实性和准确性。

4）提出备选方案和评价标准

通过深入的调查研究，最终确定真正有待解决的问题，明确产生问题的主要原因，在此基础上就可以针对性地提出解决问题的备选方案。备选方案是为解决问题而提供的建议或设计。备选方案应有两种以上，以便进一步评估和筛选。为了对备选方案进行评估，要根据问题的性质和客户的条件，提出约束条件或评价标准，供下一步应用。

5）评估备选方案和提出最可行方案

根据上述约束条件或评价标准，对解决问题的备选方案进行评估。评估应该是综合性的，不仅要考虑技术因素，还要考虑社会、经济等因素；评估小组的成员应该有一定代表性，除咨询项目组成员外，也需要客户代表参加。最后，再根据评估结果确定最可行的方案。