（1）磨损表面分析 主要进行宏观和微观形貌分析。

这是磨损构件失效最直接的资料，代表了该构件在确定的工况条件下设备的运转特性，也一定程度地反映了磨损的发生发展过程，所以对磨损失效构件表面要严格保护，防止碰撞损坏或长锈。

在失效现场可以使用放大镜、实物显微镜等设备，观察磨损表面的宏观特征。为了进一步分析磨损发生过程、了解工况条件对磨损过程的影响，还必须进行微观分析，可使用扫描电镜等设备分析判断。

（2）磨损亚表层分析 在磨损表面下相当厚的一层金属，在磨损过程中发生了重大变化，这就为判断磨损发生过程提供了重要依据。这种突出变化有冷作硬化、产生磨损热效应、先受到磨损的组织发生相变、裂纹的形成和扩展、元素的转移等。

（3）磨屑的形貌及结构分析 磨屑是磨损过程中的产物，它最能代表对磨物相互作用过程中瞬时状态，如形貌和磨屑内部组织结构变化能表明磨损机理，内部结构变化能代表对磨物相互作用的严重程度。磨屑的回收有两种：一种是从磨损系统中直接回收并用双色显微镜或扫描电镜观察，如铁谱技术用于监测齿轮箱、轴承的运转；一种是在与工况条件类似的模拟试验机上进行磨损试验回收磨屑，这比直接从磨损系统中回收磨屑来分析磨损过程要差一些。